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J-GLOBAL ID：200903086703413959
真空蒸着による透明な酸化イリジウム薄膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992116472
Publication number (International publication number)：1993303119
Application date： May. 11, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：
【要約】【目的】 工程が1工程で済み、かつ大面積の透明な酸化イリジウム薄膜を製造する。【構成】 金属イリジウム(Ir)を、他の金属(M)またはその酸化物もくしは弗化物と共に、O2 分圧:1×10-4〜1×10-2Torr.成膜速度比:Ir/M(重量比)=0.02以上の条件下で基板上に多元蒸着する。
Claim (excerpt)：
金属イリジウム(Ir)を、他の金属(M)またはその酸化物もしくは弗化物と共に、O2 分圧:1×10-4〜1×10-2Torr.成膜速度比:Ir/M(重量比)=0.02以上の条件下で多元蒸着することにより、基板上に透明な酸化イリジウム薄膜を製造する方法。
IPC (4)：
G02F 1/15 505
, G02F 1/15 507
, C23C 14/08
, C23C 14/24
