ポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山口巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998270388
Publication number (International publication number)：1999171994
Application date： Sep. 24, 1998
Publication date： Jun. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】有機溶媒および金属イオンを含まない水性アルカリ現像剤に良好に溶解でき、光感性組成物に適し、遠心技術によって加工できるポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体を提供する。【解決手段】下記の部分構造式【化1】を含むポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体を製造する。この場合、下記が成立する:A1 〜A6 は、相互に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,OCF3 ,CH2 CH3 、CF2 CF3 、OCH2 CH3 またはOCF2 CF3 を表し;Tは、OまたはSを表し,mは、0または1を表し;Zは、芳香族基または複素環基を表す。

Claim (excerpt)：

下記の部分構造式[式中、A1 〜A6 は、相互に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,OCF3 ,CH2 CH3 、CF2 CF3 、OCH2 CH3 またはOCF2 CF3 を表し;TはOまたはSを表し,mは0または1を表し;Zは、下記の基(式中、Q=C-AまたはNであり、ここでA=H,F,(CH2 )p CH3 、(CF2 )p CF3 ,O(CH2 )p CH3 、O(CF2 )p CF3 、CO (CH2 )p CH3 、CO(CF2 )p CF3 (ここでp=0〜8)(直鎖または分岐),OC(CH3 )3 ,OC(CF3 )3 ,C6 H5 、C6F5 ,OC6 H5 、OC6 F5 ,シクロペンチル、ペルフルオルシクロペンチル、シクロヘキシルまたはペルフルオルシクロヘキシルであり、ここで、分離された芳香族環には、環当り最大3つのN原子が存在でき、2つのN原子は隣接してよく、多環系には、環当り最大2つのN原子が存在でき、M=単一結合、(CH2 )n ,(CF2 )n ,CH(CH3 ),CH(CF3 ),CF(CH3 ),CF(CF3 ),C(CH3 )2 ,C(CF3 )2 ,CH(C6 H5 )、CH(C6 F5 ),CF(C6 H5 )、CF(C6 F5 ),C(CH3 )(C6 H5 )、C(CH3 )(C6 F5 )、C(CF3 )(C6 H5 )、C(CF3 )(C6 F5 )、C(C6 H5 )2 、C(C6 F5 )2 、CO,SO2 ,【化1】であり、ここで、Z=フェニレンの場合またはm=0の場合は、基A1 〜A6 の少なくとも1つは≠Hでなければならず、Z=【化2】であり、QがC-Fを表し、Mは単一結合を表す場合は、ポリベンゾオキサゾールの部分構造式のNH-CO基は、O-ブリッジに対してo-位置またはp-位置を取らなければならない【化3】の1つを表す]【化4】のポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体。

IPC (4)：

C08G 73/22 , C08G 69/32 , C08G 69/42 , G03F 7/032

FI (4)：

C08G 73/22 , C08G 69/32 , C08G 69/42 , G03F 7/032

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-117387 Applicant：住友ベークライト株式会社
耐熱性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-084825 Applicant：日東電工株式会社
特開昭63-305130

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

CHEMICAL ABSTRACTS, 19870309, 第106巻第10号, 要約番号67818y

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