ポジ型感光性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994152218
Publication number (International publication number)：1996015862
Application date： Jul. 04, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】高感度、高解像力、を有する3成分系化学増幅型のポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 a式Iで示される構造単位と、式IIで示される構造単位を含む、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、b活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及びc第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物cが、第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物等からなる群から選ばれた少なくとも1種である。

Claim (excerpt)：

(a)式(I)で示される構造単位と、式(II)で示される構造単位を含む、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、からなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R01:水素原子もしくはメチル基、R02:水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、ヒドロキシ基、シアノ基、ニトロ基もしくはハロゲン原子、R03:水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、シアノ基、ニトロ基もしくはハロゲン原子、R04:水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、シアノ基、ニトロ基もしくはハロゲン原子、m,n:それぞれ0もしくは1〜3の整数、を表す。

IPC (4)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-305929 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-286045 Applicant：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-253523 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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