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J-GLOBAL ID：200903086741185749
基板の検査方法および基板の検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
▲高▼橋 克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992155866
Publication number (International publication number)：1993322789
Application date： May. 21, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 各層にずれのある基板において、精度良くしかも短時間に検査すること。【構成】 複数のプリント層あるいは重ね刷り層を有するプリント基板であって、欠陥の無いマスタ基板および検査基板の各層にX線を照射するX線発生装置11と、マスタ基板および検査基板を透過したX線を可視光に変換するX線ホロスコープ21と、この可視光を電気信号に変換するCCD撮像素子22と、この電気信号をグレーレベルを持ったマスタ画像データおよび検査画像データとして記憶する各層マスタ画像および検査画像記憶部24、25と、検査画像データのマスタ画像データに対する相対的な位置ずれ量を算出する層間ずれ量算出部30と、位置ずれ量により補正し補正マスタ画像データを合成するマスタ画像合成部40と、検査画像と合成マスタ画像を比較し各層の欠陥を検出するグレーレベル比較部50とから成るプリント基板の欠陥検査方法および装置。
Claim (excerpt)：
欠陥の無いマスタ基板に光源からの光線を照射する工程と、マスタ基板からの透過光あるいは反射光のグレーレベルを持ったマスタ画像データを記憶する工程と、検査する基板に光源からの光線を照射する工程と、検査基板からの透過光あるいは反射光のグレーレベルを持った検査画像データを記憶する工程と、検査画像データのマスタ画像データに対する相対的な位置ずれ量を算出する工程と、この位置ずれ量に基づき位置ずれを補正し補正画像データを作成する工程と、前記検査画像データまたはマスタ画像データと補正画像データとを比較し、欠陥を検出する工程とから成ることを特徴とする基板の欠陥検査方法。
IPC (6)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01B 11/30
, G06F 15/62 405
, H05K 3/00
, H05K 3/46
