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J-GLOBAL ID：200903086749742043
静電チヤツク装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991250411
Publication number (International publication number)：1993063063
Application date： Sep. 02, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 低い電圧で強力な吸着力を実現しかつ被吸着体の着脱時間を短縮すると共に、絶縁層の帯電による悪影響を防止する。【構成】 静電チャック装置において、セラミックス等の基板上に非磁性かつ非晶質のニッケル系合金をメッキすることにより吸着用電極を形成し、かつ該吸着用電極の上に絶縁体層を堆積により形成する。また、吸着用電極に対応する吸着面以外の絶縁体層の大部分を導電性材料でコーティングし、かつ該導電性材料を接地する。
Claim (excerpt)：
基板上に非磁性かつ非晶質のニッケル系合金をメッキすることにより吸着用電極を形成し、かつ該吸着用電極の上に絶縁体層を形成したことを特徴とする静電チャック装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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