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J-GLOBAL ID：200903086804961183

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 荒巻 晋治 ,  山本 満則
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991282962
Publication number (International publication number)：1993118843
Application date： Oct. 29, 1991
Publication date： May. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】所望の測定領域に探針を正確に合わせられる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】レーザ110から発射されたレーザビームはビームエキスパンダ112で適当な径に拡大される。このレーザビームは、ハーフミラー116を通過し、二つの光偏向器118と120で偏向され、結像レンズ122に入射する。結像レンズ122からのレーザビームはビデオカメラ取付筒52に入射した後、対物レンズで集光され試料の表面にビームスポットを形成する。このビームスポットは光偏向器118と120を互いに直交する軸周りに回転させることにより移動される。試料で反射されたレーザビームの一部は二次元位置検出素子に入射し、二次元位置検出素子はビームスポットの位置に対応した信号を出力する。この信号に基づいて探針または試料を移動して、探針をビームスポットに合わせる。

Claim (excerpt)：

試料を光学的に観察する観察光学系を備えている走査型プローブ顕微鏡において、レーザビームを射出する光源と、レーザビームを試料の表面に照射してビームスポットを形成する手段と、ビームスポットの位置を移動させる手段と、ビームスポットの位置を検出し、その位置信号を出力する手段と、位置信号に基づいて探針または試料を移動する手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-116349
  
• 特開昭63-116349
  
• 特開平3-076569
  
• 特開昭63-144661
  
• 特開平3-181911