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J-GLOBAL ID:200903086824152192
操作の実行方法及びその装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1994519492
Publication number (International publication number):1997503704
Application date: Jul. 15, 1994
Publication date: Apr. 15, 1997
Summary:
【要約】ガス雰囲気における選択されたガス種の特定の分圧、あるいはそのガス雰囲気の特定の全圧の下で、材料を必要とする操作を実行する方法において、前記操作は、i)ガス雰囲気を収容する第1室(2)を形成する第1室壁(1)と、ii)前記第1室をほぼ包囲する第2室(4)を形成する第2室壁(3)とからなり、前記第2室が前記第1室壁と前記第2室壁の間にガス雰囲気を収容するハウジング内で実行し、その操作は、a)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ第1室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低く、そして、b)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ隣接する外部の第3室又は空間のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低い間に、前記第1室内で実行する。本発明は、さらに前述の操作を実行するハウジングに関する。
Claim (excerpt):
ガス雰囲気における選択されたガス種の特定の分圧、あるいはそのガス雰囲気の特定の全圧の下で、材料を必要とする操作を実行する方法において、 前記操作は、i)ガス雰囲気を収容する第1室を形成する第1室壁と、ii)前記第1室をほぼ包囲する第2室を形成する第2室壁とからなり、前記第2室が前記第1室壁と前記第2室壁の間にガス雰囲気を収容するハウジング内で実行し、 その操作は、a)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ第1室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低く、そして、b)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ隣接する外部の第3室又は空間のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低い間に、前記第1室内で実行する、操作の実行方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平1-262947
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特開昭60-037977
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特開昭57-083274
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