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J-GLOBAL ID：200903086841526489

表面研磨装置

Inventor： 今橋 孝弘
Applicant, Patent owner： 株式会社イマハシ製作所
Agent (1)： 鈴木 正次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994190717
Publication number (International publication number)：1996052650
Application date： Aug. 12, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 この発明は磁界を変化させることにより研磨材の多変化流動を生起し、遊離したワークを研磨することを目的としたものである。【構成】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設して研磨する装置において、回転体上の永久磁石は、該回転体の円周方向および半径方向に磁力が働くように不規則的又は規則的に配置されたことを特徴とする表面研磨装置。磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置において、回転体上の永久磁石は、該回転体の外周方向および内外半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置すると共に、N極、S極の極数をほぼ等しくし、かつ永久磁石を対称の位置に固定したことを特徴とする表面研磨装置。

Claim (excerpt)：

磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置において、回転体上の永久磁石は、該回転体の外周方向および内外半径方向に磁力が働くように不規則に配置されたことを特徴とする表面研磨装置。

IPC (2)：

B24B 31/02 ,  B24B 31/112

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-223864
  
• 研磨装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-264216   Applicant：株式会社有山精機製作所, 三栄機工株式会社
• 特公平4-026981