金属酸化物の前駆体と製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田敬 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994511197
Publication number (International publication number)：1996502946
Application date： Oct. 21, 1993
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】第1金属、アルコール、及びカルボン酸を反応させて金属アルコキシカルボキシレートを作成し、次いで第2金属のアルコキシド及び/又はカルボキシレートと反応させて前駆体を作成する。あるいは、金属カルボキシレートと金属アルコキシドを混合して加熱し、前駆体を作成する。いずれの態様においても、前駆体は、所望の金属酸化物の殆ど又は全部の金属-酸素-金属の結合とカルボキシレート配位子を含む。この前駆体を基材(18,38,47,75)に施し、乾燥し、アニールし、BSTのような金属酸化物(12,30,48,60)を作成する。前駆体の金属-酸素-金属の結合は、1つの過程で前駆体から所望の金属酸化物(12,30,48,60)が作成されることを可能にし、集積回路に適切な優れた薄膜を提供する。カルボキシレート配位子は前駆体に安定性を与え、大規模の生産に一般的な期間で貯蔵することを可能にする。

Claim (excerpt)：

前駆体が金属-酸素-金属の結合とカルボキシレート配位子を含む金属錯体であることを特徴とする、金属酸化物(12)、(30)、(48)、(60)を作成するための前駆体。

IPC (11)：

C01B 13/32 , C01F 11/04 , C01F 17/00 , C01G 23/00 , C01G 29/00 , C01G 33/00 , H01L 21/316 , H01L 21/822 , H01L 21/8242 , H01L 27/04 , H01L 27/108

FI (2)：

H01L 27/04 C , H01L 27/10 651

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭59-195504
特開昭59-213602
特開昭59-042392

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