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J-GLOBAL ID:200903086842153406

金属酸化物の前駆体と製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1994511197
Publication number (International publication number):1996502946
Application date: Oct. 21, 1993
Publication date: Apr. 02, 1996
Summary:
【要約】第1金属、アルコール、及びカルボン酸を反応させて金属アルコキシカルボキシレートを作成し、次いで第2金属のアルコキシド及び/又はカルボキシレートと反応させて前駆体を作成する。あるいは、金属カルボキシレートと金属アルコキシドを混合して加熱し、前駆体を作成する。いずれの態様においても、前駆体は、所望の金属酸化物の殆ど又は全部の金属-酸素-金属の結合とカルボキシレート配位子を含む。この前駆体を基材(18,38,47,75)に施し、乾燥し、アニールし、BSTのような金属酸化物(12,30,48,60)を作成する。前駆体の金属-酸素-金属の結合は、1つの過程で前駆体から所望の金属酸化物(12,30,48,60)が作成されることを可能にし、集積回路に適切な優れた薄膜を提供する。カルボキシレート配位子は前駆体に安定性を与え、大規模の生産に一般的な期間で貯蔵することを可能にする。
Claim (excerpt):
前駆体が金属-酸素-金属の結合とカルボキシレート配位子を含む金属錯体であることを特徴とする、金属酸化物(12)、(30)、(48)、(60)を作成するための前駆体。
IPC (11):
C01B 13/32 ,  C01F 11/04 ,  C01F 17/00 ,  C01G 23/00 ,  C01G 29/00 ,  C01G 33/00 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/822 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/04 ,  H01L 27/108
FI (2):
H01L 27/04 C ,  H01L 27/10 651
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開昭59-195504
  • 特開昭59-213602
  • 特開昭59-042392
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