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J-GLOBAL ID：200903086844025979

セルフクリーニング機構付ダクト

Inventor： 奥村 学 ,  村岡 俊一
Applicant, Patent owner： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992198458
Publication number (International publication number)：1994042804
Application date： Jul. 24, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 吸、排気ダクト等において、ダクトの内壁に反応ガスによる生成物やゴミ等が付着、堆積しても、自動的にそれらの物質を除去、移動させ、又は付着防止機能を付加させることを目的とする。【構成】 ダクト3の内壁に沿って回転するセルフクリーニング用羽根4を配置した。【効果】 ダクト内内壁にゴミ等が付着、堆積しても、セルフクリーニング用羽根を回転させることにより、これらの除去及び付着防止等を自動的に行なうことができ、装置の稼働率を向上させる。

Claim (excerpt)：

ダクトの内壁に沿って回転可能なセルフクリーニング用羽根を備えたことを特徴とするセルフクリーニング機構付ダクト。

IPC (2)：

F24F 13/02 ,  H01L 23/467

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭59-049886
  
• 特開昭64-054167