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J-GLOBAL ID：200903086853283875

グリーンシートの製造方法及びそれを用いたセラミック多層配線基板の製造方法と転写用パターン付支持体の製造装置

Inventor： 勝村 宣仁 ,  岡本 正英
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998027929
Publication number (International publication number)：1999233943
Application date： Feb. 10, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】信頼性の高い微細且つ高アスペクトのパターンを感光性ペーストの塗布工程なしに直接支持体上に形成し、これをグリーンシートに転写するグリーンシートの製造方法と転写用パターン付支持体の製造装置及びこのグリーンシートを用いて高密度、高信頼性のセラミック多層配線基板が得られる製造方法とを実現する。【解決手段】感光性ペースト3を容器2に収容し、活性エネルギー4を露光窓21を介して照射する光学的造形方法によりアスペクト比の高いパターンを支持体上に形成し、これをグリーンシート上に転写することにより、グリーンシート上に回路パターンを形成する。回路パターン付グリーンシートを積層し、焼結して多層配線セラミック基板を製造する。

Claim (excerpt)：

グリーンシート上に、転写用パターン付支持体を位置合わせして圧着し、前記支持体上に形成された転写用パターンを前記グリーンシート上に転写する工程を有するグリーンシートの製造方法であって、前記転写用パターン付支持体を形成する工程を、?@露光窓を有する容器に液状の感光性ペーストを収容すると共に、前記露光窓に対向して所定の間隔をおいてテーブル上に保持された支持体を、前記液状の感光性ペースト中にて対面せしめる工程と、?A前記露光窓を通して活性エネルギーを前記支持体上に照射することにより、所定パターンの露光を行い支持体上の感光性ペーストを感光硬化せしめて支持体上に感光領域を形成する工程と、?B前記感光領域を現像して前記支持体上に所定のペーストパターンを形成する工程と、?C前記支持体を前記テーブルから切り離す工程とで構成して成るグリーンシートの製造方法。

FI (4)：

H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 E ,  H05K 3/46 N ,  H05K 3/46 S