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J-GLOBAL ID：200903086870644520

半導体装置の製造方法

Inventor： 西村 勇
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体先端テクノロジーズ
Agent (3)： 高田 守 ,  高橋 英樹 ,  大阿久 敦子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003158592
Publication number (International publication number)：2004363257
Application date： Jun. 03, 2003
Publication date： Dec. 24, 2004
Summary：

【課題】金属の拡散を抑えることによって、接合リーク電流の発生を抑制するとともに信頼性の高い半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】ゲート電極4およびソースまたはドレインとなる深い拡散層7が設けられたシリコン基板1の上に金属膜8を形成し、金属膜8に低温で加熱処理を施すことによって、ゲート電極4および深い拡散層7の上に金属シリサイド層9を形成する。次に、金属膜8および金属シリサイド層9の上に、金属膜8と同じ金属膜を形成し、低温で加熱処理することによって金属シリサイド層9の上にさらに金属シリサイド層を形成する。この工程を繰り返して行い、所定の膜厚を有する金属シリサイド層を形成する。【選択図】 図7

Claim (excerpt)：

シリコン基板上に設けられたゲート電極および前記シリコン基板の前記ゲート電極を挟む領域に設けられたソースまたはドレインとなる拡散層の上に金属シリサイド層を形成する半導体装置の製造方法において、 前記シリコン基板の全面に金属膜を形成する工程と、 前記金属膜に低温で加熱処理を施して前記ゲート電極および前記拡散層の上に金属シリサイド層を形成する工程と、 前記金属膜および前記金属シリサイド層の上に前記金属膜と同じ金属膜を形成し低温で加熱処理を施すことによって前記金属シリサイド層の上に金属シリサイド層をさらに形成する工程を繰り返して行い所定の膜厚の金属シリサイド層を形成する工程と、 未反応の前記金属膜を除去する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (5)：

H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L29/417 ,  H01L29/78

FI (4)：

H01L29/78 301P ,  H01L21/28 301S ,  H01L29/50 M ,  H01L21/88 Q

F-Term (81)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB19 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB26 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104DD23 ,  4M104DD79 ,  4M104DD84 ,  4M104EE09 ,  4M104EE17 ,  4M104FF14 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH20 ,  5F033HH04 ,  5F033HH25 ,  5F033HH26 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033HH29 ,  5F033HH30 ,  5F033KK01 ,  5F033KK25 ,  5F033KK26 ,  5F033KK27 ,  5F033KK28 ,  5F033KK29 ,  5F033KK30 ,  5F033MM07 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR04 ,  5F033RR05 ,  5F033WW03 ,  5F033XX20 ,  5F033XX31 ,  5F140AA24 ,  5F140AA28 ,  5F140BA01 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BF34 ,  5F140BG08 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG34 ,  5F140BG38 ,  5F140BG44 ,  5F140BG45 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK29 ,  5F140BK34 ,  5F140BK38 ,  5F140BK39 ,  5F140CB01 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CF04