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J-GLOBAL ID：200903086874395517

樹脂層複製方法

Inventor： 江口 伸 ,  穂刈 守 ,  山岸 文雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991242054
Publication number (International publication number)：1993077257
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 樹脂材を拡散させた時に、厚さを均一に調節することができる樹脂層複製方法に関し、フォトポリマの膜厚の均一性が得られ、所望の光学特性を得ることができる樹脂層複製方法を提供することを目的とする。【構成】 スタンパ13上に硬化性を有する液状の樹脂材14を所定量滴下し、樹脂材14上に基板15を載せて拡散させてから樹脂材を硬化させた後、スタンパ13と硬化した樹脂材14が付着した基板15を分離する樹脂層複製方法であって、滴下した樹脂材14の上に基板15を載せて拡散させた時に、樹脂材14の厚さの均一性を測定手段17によって測定し、測定の結果、厚さが不均一の時に、調節手段19によって厚さを均一に調節した後、樹脂材14を硬化させる構成とする。

Claim (excerpt)：

所定形状が形成されたスタンパ(13)上に硬化性を有する液状の樹脂材(14)を所定量滴下し、該樹脂材(14)の上に基板(15)を載せて該樹脂材(14)を該スタンパ(13)上に拡散させてから該樹脂材(14)を硬化させた後、該スタンパ(13)から該硬化した樹脂材(14)が付着した該基板(15)を剥離する樹脂層複製方法であって、滴下した前記樹脂材(14)の上に基板(15)を載せて該樹脂材(14)を前記スタンパ(13)上に拡散させた時に、該樹脂材(14)の厚さの均一性を測定手段(17)によって測定し、該測定の結果、該厚さが不均一の時に、調節手段(19)によって該厚さを均一に調節した後、該樹脂材(14)を硬化させることを特徴とする樹脂層複製方法。

IPC (5)：

B29C 43/18 ,  B29C 43/58 ,  G03H 1/18 ,  G03H 1/20 ,  B29L 17:00