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J-GLOBAL ID:200903086911868250

スピンコート可能な反射防止組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三浦 邦夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992183707
Publication number (International publication number):1994025599
Application date: Jul. 10, 1992
Publication date: Feb. 01, 1994
Summary:
【要約】【目的】 スピンコート方式を用いて外観、透明性、反射防止性などに優れた反射防止膜を形成しうる反射防止組成物を提供すること。【構成】 有機シラン化合物、有機ポリシロキサン、含フッ素シリコーン化合物及びこれらの加水分解物並びに金属フッ化物のうちの少なくとも1種と溶媒からなり、総固形分濃度が1〜7重量%であることを特徴とするスピンコート可能な反射防止組成物である。溶媒は、低級アルコール及びエーテルのうちの1種以上を全溶媒量の60重量%以上を含むものが好ましい。
Claim (excerpt):
有機シラン化合物、有機ポリシロキサン、含フッ素シリコーン化合物及びこれらの加水分解物並びに金属フッ化物のうちの少なくとも1種と溶媒からなり、総固形分濃度が1〜7重量%であることを特徴とするスピンコート可能な反射防止組成物。
IPC (5):
C09D183/04 PMT ,  C08K 3/24 LRX ,  C08K 5/54 LRU ,  C08L 83/04 LRR ,  G02B 1/10

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