感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994039926
Publication number (International publication number)：1995248625
Application date： Mar. 10, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】感度、現像性に優れ残膜率に優れるとともに、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、可視光領域における透明性に優れたネガ型レジスト膜を形成しうるような感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 [A](a-1) 不飽和カルボン酸と、(a-2) 下記一般式[I]で示されるエポキシ基含有ラジカル重合性化合物と、必要に応じて(a-3) 上記の(a-1) 、(a-2) と共重合しうる他のラジカル重合性化合物との共重合体と、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物と、[C]光重合開始剤とを含有する。(式中、R1〜R3は、それぞれ独立に水素原子または炭素原子数1〜10のアルキル基であり、mは1〜5の整数である。)

Claim (excerpt)：

[A](a-1) 不飽和カルボン酸と、(a-2) 下記の一般式[I]で示されるエポキシ基含有ラジカル重合性化合物と、【化1】必要に応じて(a-3) 上記の(a-1) 、(a-2) と共重合しうる他のラジカル重合性化合物との共重合体と、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物と、[C]光重合開始剤とからなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/032 501 , G03F 7/027 501 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

耐熱性感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-198741 Applicant：日本合成ゴム株式会社
特開昭64-009207
特開昭60-129741

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