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J-GLOBAL ID：200903086929566979

加速度センサ及びその製造方法

Inventor： 今枝 泰夫
Applicant, Patent owner： 株式会社東海理化電機製作所
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994022874
Publication number (International publication number)：1995229924
Application date： Feb. 21, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：

【要約】【目的】破損に対する耐力を向上させた上で検出感度を高めることが可能な加速度センサを提供する。【構成】加速度が印加されると重り部4がたわんで片持梁2の基端部が歪み、その歪みに応じた力が圧電変換器3に加わる。その力を圧電変換器3が感知し、印加された加速度に対応した検出信号を出力する。重り部4が矢印α方向にある程度以上たわむと、重り部4の受け部4aが片持梁11の自由端部11aに当接し、重り部4がそれ以上にたわむのが防止される。反対に、重り部4が矢印β方向にたわんだときには、片持梁12の自由端部12aが枠部1aの受け部1bに当接する。各片持梁11,12は弾性に富むポリイミド系樹脂膜によって形成され、各自由端部11a,12aが各受け部4a,1bと急激に衝突したとしても、その衝突力は各片持梁11,12によって吸収される。従って、各片持梁11,12または各受け部4a,1bが破損することはない。

Claim (excerpt)：

基板(1)に片持梁(2)の基端部が固定され、その基端部に圧電変換器(3)が設けられ、片持梁の自由端部に重り部(4)が設けられた加速度センサにおいて、基板または重り部のうち少なくともいずれか一方に設けられ、重り部の変位を規制すると共に、その規制時に生じる重り部からの衝撃力を吸収する付勢緩衝部材(11,12)を備えた加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84