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J-GLOBAL ID：200903086932909119

X線3次元加工装置

Inventor： 高橋 進一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996048675
Publication number (International publication number)：1997239579
Application date： Mar. 06, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 数μm以下の精度での3次元微細加工を可能とし、しかも被加工物の材質に依らず加工時間を短縮することができる3次元微細加工装置を提供すること。【解決手段】 少なくとも、X線発生機構8、9、10と、該X線発生機構からのX線を集光して被加工物3に照射するX線照射光学系11と、前記被加工物3を保持する保持機構4と、該保持機構4を変位駆動させる駆動機構12、13と、前記X線発生機構にX線出射のON/OFF制御信号を、また前記駆動機構に変位駆動信号をそれぞれ出力する制御機構6と、を備えた、X線により被加工物の3次元加工を行うX線3次元加工装置。

Claim (excerpt)：

少なくとも、X線発生機構と、該X線発生機構からのX線を集光して被加工物に照射するX線照射光学系と、前記被加工物を保持する保持機構と、該保持機構を変位駆動させる駆動機構と、前記X線発生機構にX線出射のON/OFF制御信号を、また前記駆動機構に変位駆動信号をそれぞれ出力する制御機構と、を備えた、X線により被加工物の3次元加工を行うX線3次元加工装置。

IPC (4)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  G21K 5/02 ,  H05G 2/00

FI (4)：

B23K 26/06 Z ,  B23K 26/00 Z ,  G21K 5/02 X ,  H05G 1/00 K