Pat
J-GLOBAL ID：200903086933369746
変位センサ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993208897
Publication number (International publication number)：1995043114
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Feb. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 極めて簡易な構成でありながら、多自由度の変位量の絶対値を単一のセンサモジュールにて、非接触で高精度に検出することのできる変位センサを提供することを目的とする。【構成】 光ビーム2,3を発生する光源1と、前記光ビーム2,3の入射位置に応じた信号を出力する受光手段4と、前記受光手段4の出力から同受光手段4と前記光源1との変位を求める演算手段5とから構成される。
Claim (excerpt)：
光ビームを発生する光源と、前記光ビームの入射位置に応じた信号を出力する受光手段と、前記受光手段の出力から同受光手段と前記光源との変位を求める演算手段とからなることを特徴とする変位センサ。
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
