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J-GLOBAL ID:200903086949837022

表面検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992111170
Publication number (International publication number):1993307007
Application date: Apr. 30, 1992
Publication date: Nov. 19, 1993
Summary:
【要約】【目的】 被検査物の表面が、微細な凹凸を有するものであっても、検出対象である傷やクラックなどを確実に検出することのできる検査方法を提供する。【構成】 被検査物10の表面をカメラ30などの撮像手段で撮影し、得られた画像から被検査物10の表面状態を検査する方法において、被検査物10の表面を、積分球40のような拡散反射性を有する球内面で反射された光で照明することにより、被検査物10の表面に様々な方向からの光を一様に照射して、微細な凹凸の全面で一様な反射を生じさせ、クラックなどの検査対象と微細な凹凸の違いが、画像上で明確に表れるようにする。
Claim (excerpt):
被検査物の表面を撮像手段で撮影し、得られた画像から被検査物の表面状態を検査する方法において、被検査物の表面を、拡散反射性を有する球内面で反射された光で照明することを特徴とする表面検査方法。
IPC (2):
G01N 21/88 ,  G06F 15/64
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭60-097312
  • 特開平3-207169

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