Pat

J-GLOBAL ID：200903086958067779

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及びその製造方法、並びに走査型プローブ顕微鏡及び表面電荷測定顕微鏡

Inventor： 渡辺 俊二 ,  藤井 透
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999291754
Publication number (International publication number)：2001108605
Application date： Oct. 14, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】 コストを減らした工程により製造された、下部電極と導通し上部電極と絶縁された導電性探針を有するカンチレバーを提供する。【解決手段】 測定物体と探針2の間に働く原子間力等により探針2の位置が変化すると、その変位はSi単結晶1を介してPZT4に伝わり、PZT4を変形させるので、下部電極3と上部電極5間に電圧が発生する。よって、下部電極3と上部電極5間の電圧を測定することにより、原子間力等を測定することができる。この実施の形態においては、探針2の表面が導電性薄膜7で覆われ、導電性薄膜7は下部電極3と導通しているので、探針2の先端は、下部電極3の電位に保たれている。よって、測定中に探針2がチャージアップし、それによって被測定体との間の静電力が変化することがないので、たとえばAFM等に用いる場合に、正確な原子間力の測定が可能となる。

Claim (excerpt)：

圧電素子を検出素子として有する走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーであって、圧電素子の下部電極が、探針と電気的に導通していることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 13/16 C ,  G01N 13/16 A ,  G01B 21/30 Z

F-Term (11)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069CC06 ,  2F069DD26 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069LL03 ,  2F069RR03