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J-GLOBAL ID:200903086968208613

凹凸表面を有する物品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 俊哉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005260181
Publication number (International publication number):2006082549
Application date: Sep. 08, 2005
Publication date: Mar. 30, 2006
Summary:
【課題】 耐熱性が高く、一層膜において数十〜数千μmの厚い層であってもその表面にクラックが発生せずかつ基板と剥離しない寸法精度の高い微細凹凸表面を有する物品を提供する。【解決手段】 凹凸表面を有する物品において、凹凸は基材上に付着させた厚さ1μm〜1mmのオルガノポリシロキサン膜の表面に形成されており、この膜中に炭素数1〜3のアルキル基および炭素数6〜13のアリール基がそれぞれ5〜25重量%および5〜40重量%含まれる。膜の表面上に必要に応じて金属膜または誘電体膜を形成する。【選択図】 図4
Claim (excerpt):
凹凸表面を有する物品において、前記凹凸は基材上に付着させた厚さ1μm〜1mmのオルガノポリシロキサン膜の表面に形成され、前記膜中に炭素数1〜3のアルキル基および炭素数6〜13のアリール基がそれぞれ5〜25重量%および5〜40重量%含まれることを特徴とする凹凸表面を有する物品。
IPC (8):
B32B 27/00 ,  C03B 8/02 ,  C03C 17/30 ,  C03C 17/42 ,  C03C 17/38 ,  G02B 3/00 ,  G11B 7/257 ,  G11B 7/254
FI (9):
B32B27/00 101 ,  C03B8/02 A ,  C03B8/02 K ,  C03C17/30 A ,  C03C17/42 ,  C03C17/38 ,  G02B3/00 A ,  G11B7/24 538S ,  G11B7/24 534G
F-Term (27):
4F100AB01C ,  4F100AG00 ,  4F100AK52B ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DD01B ,  4F100GB41 ,  4F100JJ03 ,  4F100JM02C ,  4F100YY00B ,  4G014AH01 ,  4G014AH04 ,  4G059AA09 ,  4G059AA11 ,  4G059AB09 ,  4G059AC01 ,  4G059FA22 ,  4G059FB06 ,  4G059GA01 ,  4G059GA05 ,  4G059GA15 ,  4G059GA16 ,  5D029LA11 ,  5D029MA35
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)

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