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J-GLOBAL ID：200903086997947379

熱交換効果を利用した走査型プローブ顕微鏡装置におけるアプローチ方法及びカンチレバー

Inventor： 白川部 喜春 ,  高橋 寛 ,  清水 信宏 ,  安室 千晃 ,  新井 正
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999168908
Publication number (International publication number)：2000356644
Application date： Jun. 15, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 試料に対しカンチレバーの探針を精度よくアプローチ可能とすること。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡装置においてカンチレバー1の探針4を試料表面にアプローチさせるため、カンチレバー1に熱センサ23を組み込んでおき、カンチレバー1が試料に接近するにつれて生じる両者間の熱交換情報を熱センサ23からの出力信号を用いて得、この熱交換情報によってカンチレバー1と試料との間の距離を制御するようにした。

Claim (excerpt)：

走査型プローブ顕微鏡装置においてカンチレバーの探針を試料表面にアプローチさせるためのアプローチ方法において、前記カンチレバーに熱センサを組み込んでおき、前記カンチレバーが前記試料に接近するにつれて生じる両者間の熱交換情報を前記熱センサからの出力信号を用いて得、該熱交換情報によって前記カンチレバーと前記試料との間の距離を制御するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置におけるアプローチ方法。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34

FI (2)：

G01N 37/00 U ,  G01B 7/34 Z

F-Term (20)：

2F063AA23 ,  2F063AA43 ,  2F063CA28 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB05 ,  2F063EB07 ,  2F063EB15 ,  2F063EC01 ,  2F063EC03 ,  2F063EC06 ,  2F063EC26 ,  2F063JA09 ,  2F063KA01 ,  2F063LA03 ,  2F063ZA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-261902
  
• 表面電位読み取り装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-310853   Applicant：大日本印刷株式会社