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J-GLOBAL ID：200903087013895574

基板移載装置

Inventor： 光吉 一郎
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 小谷 悦司 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996092573
Publication number (International publication number)：1997283599
Application date： Apr. 15, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 処理用キャリアの導入及び導出をより効率良く行う。【解決手段】 第1及び第2ポジション17,18にわたって水平移動可能な搬送キャリアテーブル26と、第2及び第3ポジション18,19にわたって水平移動可能な処理キャリアテーブル36と、第3及び第4ポジション19,20わたって水平移動及び上下動可能なフォークテーブル40とを設け、第2ポジション18に押上げ機構33等を配置して基板導入装置12を構成した。そして、第1ポジション17に搬送用キャリア2を、第3ポジション19に処理用キャリア3をそれぞれ搬入する一方、第4ポジション20から基板Bを納めた処理用キャリア3をピックアップするようにした。また、処理キャリアテーブル36に切欠部36aを形成し、処理キャリアテーブル36とフォークテーブル40を同一ポジションに重複配置してフォークテーブル40の上昇に伴い処理用キャリア3を受け渡すようにした。

Claim (excerpt)：

基板処理装置の基板導入部に設けられ、搬送用キャリアに収納された処理前の基板を処理用キャリアへ移し換えるように構成された基板移載装置において、処理前の基板を収納した搬送用キャリアが搬入される第1のポジションと第1のポジションに隣設される第2のポジションとにわたって移動可能に設けられる搬送用キャリア支持用の第1テーブルと、少なくとも第2のポジションと第2のポジションに隣設され、空の処理用キャリアが搬入される第3のポジションとにわたって移動可能に設けられる処理用キャリア支持用の第2テーブルと、第4のポジションに設けられ、処理工程へ導入する処理前の基板を収納した処理用キャリアを支持する第3テーブルと、上記第2のポジションに配設され、搬送用キャリアに収納された基板を処理用キャリアに移し換えるための移し換え手段と、基板を収納した処理用キャリアを第2テーブルから第3テーブルに移載するキャリア移載手段とを備えてなることを特徴とする基板移載装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 341

FI (2)：

H01L 21/68 D ,  H01L 21/304 341 C