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J-GLOBAL ID：200903087023879542

ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法

Inventor： 日城 良樹 ,  竹山 尚幹 ,  山本 茂樹
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992344335
Publication number (International publication number)：1994194826
Application date： Dec. 24, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたポジ型レジスト組成物、並びに分光特性等の諸性能に優れたカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 熱又は酸により硬化しうる樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤及び顔料を含有してなるポジ型レジスト組成物、並びに該ポジ型レジスト組成物を基体上に塗布後、マスクを通して露光し、該露光部を現像・除去してポジ型着色パターンを形成させ、次いで、未露光部である上記着色パターンを全面露光して硬化させることからなるカラーフィルターの製造方法。

Claim (excerpt)：

熱により硬化しうる樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤及び顔料を含有してなるポジ型レジスト組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  G02B 5/20 101