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J-GLOBAL ID：200903087045892283

傾斜機能材料の製造方法

Inventor： 湯浅 基和
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999005368
Publication number (International publication number)：2000204475
Application date： Jan. 12, 1999
Publication date： Jul. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高度の真空度を必要とせず、大気圧近傍でプラズマ放電を行うことにより、高速で薄膜を形成できる傾斜機能材料の製造方法を提供する。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下で、一対の対向電極3、4間に基材5を配置し、該対向電極3、4間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス状の電圧を印加して、放電プラズマ処理を行うに当たり、上記基材の温度を連続的に変化させる。

Claim (excerpt)：

大気圧近傍の圧力下で、一対の対向電極間に基材を配置し、該対向電極間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス状の電圧を印加して、放電プラズマ処理を行うに当たり、上記基材の温度を連続的に変化させることを特徴とする傾斜機能材料の製造方法。

IPC (3)：

C23C 16/52 ,  C23C 16/515 ,  G02B 1/11

FI (3)：

C23C 16/52 ,  C23C 16/50 G ,  G02B 1/10 A

F-Term (34)：

2K009AA02 ,  2K009BB02 ,  2K009BB13 ,  2K009BB14 ,  2K009BB24 ,  2K009CC02 ,  2K009CC42 ,  2K009DD04 ,  4K030AA11 ,  4K030AA16 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BA44 ,  4K030BA46 ,  4K030BB11 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030DA02 ,  4K030FA03 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030JA11 ,  4K030JA16 ,  4K030KA14 ,  4K030KA23 ,  4K030KA24 ,  4K030KA47 ,  4K030KA49 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11