Pat
J-GLOBAL ID：200903087053389523
感光性ガラスペースト組成物及びそれを用いた焼成物パターン形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
▲吉▼田 繁喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998260433
Publication number (International publication number)：2000090738
Application date： Sep. 14, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：
【要約】【課題】 粘度安定性に優れ、高い解像性を示し、高精細な焼成物パターンを形成できる感光性ガラスペースト組成物及び焼成物パターン形成方法を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)側鎖に下記一般式(1)で表わされる基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜50,000の重合体、(B)光重合開始剤、(C)加熱により酸を発生する化合物、(D)光重合性モノマー、(E)希釈溶剤、(F)ガラスフリット、あるいはさらに(G)セラミック粉末、黒色顔料、導電性金属粉等の無機粉体を含有する。該組成物を基板に塗布し、加熱乾燥してタックフリーの塗膜を形成すると同時に酸を発生させ、上記重合体(A)の側鎖を脱ブロック化させてカルボン酸を発現させた後、活性エネルギー線を選択的に照射し、非照射部の塗膜をアルカリ水溶液で現像して除去し、焼成する。あるいは、活性エネルギー線照射後に塗膜を加熱し、カルボン酸を発現させることもできる。【化1】
Claim (excerpt)：
(A)側鎖に下記一般式(1)で表わされる基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜50,000の重合体、(B)活性エネルギー線の照射によりラジカルを発生する化合物、(C)加熱により酸を発生する化合物、(D)光重合性モノマー、(E)希釈溶剤、及び(F)ガラスフリットを含有することを特徴とするアルカリ現像型の感光性ガラスペースト組成物。【化1】
IPC (8)：
H01B 3/08
, C08F 2/50
, G03F 7/004 501
, G03F 7/032
, H01J 9/02
, H01J 9/20
, H01J 11/02
, C09D 4/00
H01B 3/08 A
, C08F 2/50
, G03F 7/004 501
, G03F 7/032
, H01J 9/02 F
, H01J 9/20 A
, H01J 11/02 B
, C09D 4/00
