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J-GLOBAL ID：200903087063846418
位置決めテーブル装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991250317
Publication number (International publication number)：1993064487
Application date： Sep. 04, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 多相型のリニアモータを備えた位置決めテーブル装置において、位置検知素子を排除してもステージが安定してイニシャライズ動作が行うことができる装置構成を提供する。【構成】 テーブル1の位置を検出する位置検出器9と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイル及び電流方向を選択的に切り換える多相型のモータ(3、4)を備えた位置決めテーブル装置において、所定の指令値に対するテーブルの移動量により、通電するコイル及び電流方向を決定する判断部17を具備する。
Claim (excerpt)：
テーブルの位置を検出する位置検出器と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイル及び電流方向を選択的に切り換える多相型のモータを備えた位置決めテーブル装置において、所定の指令値に対するテーブルの移動量により、通電するコイル及び電流方向を決定する判断部を具備することを特徴とするテーブル装置。
IPC (2)：
H02P 7/00 101
, H02K 41/03
