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J-GLOBAL ID:200903087084344307

プラズマ生成加速装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 坂間 暁 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994316472
Publication number (International publication number):1996179066
Application date: Dec. 20, 1994
Publication date: Jul. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】 トーラスプラズマ形成時の磁力線再結合の際に内部電極と外部電極間に生じる高電圧の発生を抑制し、電極の損傷や余分なプラズマの生成を防止する。【構成】 外部電極1と、同外部電極1の内側に設けられた内部電極3と、同内部電極3の内側に設けられた加速電極2と、上記外部電極1と内部電極3の間に接続されたプラズマ生成電源8を備えたプラズマ生成加速装置において、上記加速電極2内に設けられ外部電極1に接続された加速コイル13、および同加速コイル13と内部電極3の間に接続されたギャップスイッチ12を備えたことによって、内部電極3と外部電極1の間に高電圧を発生した場合には、ギャップスイッチ12が放電して電圧を低下させるため、電極1,3の損傷や残留ガスの再放電による余分なプラズマの生成の抑制が可能になるとともに、加速コイルが発生する磁力線による磁力線再結合の促進とトーラスプラズマの一層の加速が可能となる。
Claim (excerpt):
その外側にバイアスコイルが設けられ高速電磁弁を介してガス源が接続された外部電極、同外部電極内に挿入され同外部電極との間にプラズマ生成電源が接続された内部電極、および同内部電極内を貫通し上記外部電極との間に加速電源が接続された加速電極を備え、上記外部電極と内部電極の間でプラズマを生成し、このプラズマより上記外部電極と加速電極の間でトーラスプラズマを形成し加速するプラズマ生成加速装置において、上記加速電極内に設けられ一端が外部電極に接続され上記トーラスプラズマが形成される際の磁力線再結合を加速するための磁場を形成する加速コイル、および同コイルの他端と内部電極の間に接続されたギャップスイッチを備えたことを特徴とするプラズマ生成加速装置。
IPC (2):
G21B 1/00 ,  H05H 1/54

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