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J-GLOBAL ID：200903087101165012
加速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993258017
Publication number (International publication number)：1995113817
Application date： Oct. 15, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】製造の歩留まりが良く、信頼性の高いスルーホール部を有する半導体静電容量式加速度センサを提供すること。【構成】質量部(可動電極)2と、カンチレバー3が形成された単結晶シリコン板1を固定電極6,7を有するガラス板4,5で挟んだ三層構造を有し、固定電極6からワイヤボンディングパッド11への接続路にスルーホール部9を備えた加速度センサにおいて、スルーホール部9を含む電極リード部8の一部に導電性膜の補強部を設けた。【効果】固定電極6の膜厚を必要以上に厚くすることなく、ワイヤボンディングパッド11までの接続路間に有するスルーホール部9の内壁に導電性膜を充分に確保でき、スルーホール部9での断線や接続不良の発生を抑えることができる。
Claim (excerpt)：
可動電極となる質量部が形成された半導体板状部材の両面を少なくとも一方に固定電極が形成された2枚のガラス板で積層し、上記固定電極と外部端子の間の接続路に上記ガラス板を貫通するスルーホールを有する半導体静電容量式加速度センサにおいて、上記固定電極と連続して形成された接続路において、上記スルーホールを含む個所に導電材を重ねて厚くした個所を設けたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2)：
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