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J-GLOBAL ID：200903087132529268
純水製造方法および装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳原 成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993185336
Publication number (International publication number)：1995039870
Application date： Jul. 27, 1993
Publication date： Feb. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 工業用水と半導体製造排水の混合原水から純水を製造する際、フッ化カルシウム等の不溶性塩の生成によるスケール化を防止し、膜分離装置を使用する場合、目詰まりによる処理性能および処理水質の低下を防止する。【構成】 工業用水を軟化装置3において軟化し、脱炭酸装置4で脱炭酸したのち、混合水槽15で半導体製造排水と混合する。混合原水は必要により生物濾過装置5、UF膜分離装置7で前処理したのち、RO膜分離装置9、10、イオン交換装置等において脱イオンし純水を製造する。
Claim (excerpt)：
工業用水と半導体製造排水を混合し、混合原水を脱イオンして純水を製造する方法において、工業用水を軟化したのち半導体製造排水を混合し、混合原水を脱イオンすることを特徴とする純水製造方法。
IPC (2)：
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