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J-GLOBAL ID：200903087141461676

レジスト膜の光学特性測定方法

Inventor： 矢部 学
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000121906
Publication number (International publication number)：2001304967
Application date： Apr. 24, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 シャドウマスク素材の表面に形成されたレジスト膜の色度や光学濃度などの光学特性を正確かつ再現性良く測定できるレジスト膜の光学特性測定方法を提供する。【解決手段】 色度計2内の受光素子4が、シャドウマスク素材1aの表面からシャドウマスク素材1aの幅方向Yに反射した反射光を主に受光するように、シャドウマスク素材1a上に形成されたレジスト膜5の上方に配置されている。

Claim (excerpt)：

シャドウマスク素材表面に測定光を照射する発光素子およびシャドウマスク素材表面から反射した反射光を受光する受光素子を備えた測定手段によってシャドウマスク素材上に形成されたレジスト膜の光学特性を測定するレジスト膜の光学特性測定方法において、前記シャドウマスク素材表面の凹凸状態に応じて、前記受光素子が受光すべき反射光の方向を設定することを特徴とするレジスト膜の光学特性測定方法。

IPC (2)：

G01J 3/50 ,  G01N 21/27

FI (2)：

G01J 3/50 ,  G01N 21/27 B

F-Term (15)：

2G020AA08 ,  2G020BA17 ,  2G020BA18 ,  2G020CD24 ,  2G020DA02 ,  2G020DA04 ,  2G020DA13 ,  2G020DA23 ,  2G020DA45 ,  2G059AA02 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE13 ,  2G059GG02 ,  2G059NN01