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J-GLOBAL ID：200903087147152373
チャンバセンサポート
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐々木 聖孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001195792
Publication number (International publication number)：2003017433
Application date： Jun. 28, 2001
Publication date： Jan. 17, 2003
Summary：
【要約】【課題】 良好な物量量検知レスポンス特性を保証しつつ放射線を十全に遮蔽すること。【解決手段】 この圧力検知ポート26にポート・アッセンブリ44は、チャンバ10の内側からポート取付口42の小口径部42aに挿入された管46と、ポート取付口42の大口径部42b内で管46の内奥端部にOリング55付きの中心軸合せリング56を介して気密に接続された内側ブロック48と、ポート取付口42の大口径部42b内で内側ブロック48の軸方向外側面に隣接して設けられた中間ブロック50と、ポート取付口42の大口径部42b内で中間ブロック50の軸方向外側面に隣接して設けられた外側ブロック52と、ポート取付口42の外つまりチャンバ10の外で外側ブロック52の軸方向外側面にOリング59付きの中心軸合せリング60を介して気密に接続された管54とを有している。管54の終端部に位置センサとして真空計28が取り付けられる。
Claim (excerpt)：
放射線が散乱するチャンバ内の所定の物理量を測定するためのセンサを前記チャンバの外壁に取り付けて、前記センサを前記チャンバの内部に連通させるチャンバセンサポートであって、前記チャンバの壁を貫通して形成されたポート取付口と、前記ポート取付口の中に気密に取り付けられ、前記ポート取付口の軸方向に貫通する1つまたは複数の第1の貫通孔を有する第1のブロックと、前記第1のブロックの軸方向外側面に隣接して前記ポート取付口の中に気密に取り付けられ、前記第1の貫通孔と重ならない位置で前記ポート取付口の軸方向に貫通し、かつ前記第1のブロックとの間に形成される隙間を介して前記第1の貫通孔と連通する1つまたは複数の第2の貫通孔を有する第2のブロックとを具備するチャンバセンサポート。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/263 E
, G21K 5/04 E
