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J-GLOBAL ID：200903087149292555

荷電粒子ビーム用集束装置

Inventor： 山蔭 康弘
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 中井 宏行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098766
Publication number (International publication number)：1994290726
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 アラインメントが短時間に簡単かつ確実に行える荷電粒子ビーム用集束装置を提供する。【構成】 荷電粒子を供給する荷電粒子ビーム源31と、荷電粒子のビームを集束する電子レンズ32a,32bと、荷電粒子のビームを調節して電子レンズ32bの中心を通過させる為のビームアライナ33と、荷電粒子のビームの照射方向を制御する偏向器10a,10bと、荷電粒子のビーム照射による二次電子像を構成する為の二次電子検出器35とを備えた荷電粒子ビーム用集束装置において、対物レンズ32bの上流側に、上流側からビームアライナ33と2段の偏向器10a,10bとを配置して、偏向器10a,10bの偏向電位は、アラインメントが正確な状態の時に、荷電粒子のビームが対物レンズ32bの中心を通過するように連動し、かついずれか一方の偏向電位は接地電位に切り替え可能とされた構成となっている。

Claim (excerpt)：

荷電粒子を供給する荷電粒子ビーム源と、上記荷電粒子のビームを集束する複数の電子レンズと、上記荷電粒子のビームを調節して電子レンズの中心を通過させる為のビームアライナと、上記荷電粒子のビームの照射方向を制御する偏向器と、上記荷電粒子のビーム照射による二次電子像を構成する為の二次電子検出器とを備えた荷電粒子ビーム用集束装置において、上記電子レンズの内の対物レンズの上流側に、上流側から上記ビームアライナと2段の上記偏向器とを配置して、この2段の偏向器の偏向電位は、アラインメントが正確な状態の時に、上記荷電粒子のビームが上記対物レンズの中心を通過するように連動し、かついずれか一方の偏向電位は接地電位に切り替え可能とされたことを特徴とする荷電粒子ビーム用集束装置。

IPC (2)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/04