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J-GLOBAL ID：200903087153240241

走査光学ユニット検査装置

Inventor： 杉村 圭一 ,  高橋 彰
Applicant, Patent owner： リコー光学株式会社
Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999028971
Publication number (International publication number)：2000227571
Application date： Feb. 05, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】走査光学ユニットを実機に実装することなく、ビーム特性を簡易・安価に検査できる走査光学ユニット検査装置の実現する。【解決手段】ビーム特性を検査すべき走査光学ユニット4を検査位置に保持する保持手段6と、光学格子6と、受光素子7と、光学格子と受光素子とを一体としてレーザビームの走査方向に変位させ、複数の観測位置に順次に位置させる変位手段11,14,15,17と、増幅器8と、増幅器により増幅された信号の波形を測定する波形観測手段9と、データ処理手段18,19と、コントローラ手段19とを有し、複数の観測位置の個々を含む領域において、光学格子6と受光素子7とを停止させること無く、レーザビームの走査速度に比して十分小さい速度で変位させ、レーザビームによる光学格子6の走査を繰返し、光学格子と受光素子とが各観測位置を通過した直後の走査による信号波形をサンプリングする。

Claim (excerpt)：

レーザビームを光学的に走査する走査光学ユニットのビーム特性を検査する走査光学ユニット検査装置であって、ビーム特性を検査すべき走査光学ユニットを検査位置に保持する保持手段と、この保持手段により保持された走査光学ユニットのレーザビーム走査方向に格子を形成され、レーザビームを強度変調し、上記格子の形成幅がレーザビームの走査領域に対して小さい光学格子と、この光学格子により強度変調されたレーザ光を受光して光電変換する受光素子と、上記光学格子と受光素子とを一体としてレーザビームの走査方向に変位させ、複数の観測位置に順次に位置させる変位手段と、上記受光素子の出力を増幅する増幅器と、この増幅器により増幅された信号の波形をサンプリングしてデータ化する波形観測手段と、上記複数の観測位置における上記波形観測手段の観測結果に基づくデータを、観測位置の順に従って結合するデータ処理手段と、少なくとも、上記変位手段、上記データ処理手段、上記保持手段に保持された走査光学ユニットを制御するコントローラ手段とを有し、上記複数の観測位置の個々を含む領域において、上記光学格子と受光素子とを停止させること無く、レーザビームの走査速度に比して十分小さい速度で変位させ、レーザビームによる光学格子の走査を繰返し、光学格子と受光素子とが各観測位置を通過した直後の走査による信号波形を検査用にサンプリングすることを特徴とする走査光学ユニット検査装置。

IPC (4)：

G02B 26/10 102 ,  B41J 2/44 ,  G01M 11/00 ,  H04N 1/113

FI (4)：

G02B 26/10 102 ,  G01M 11/00 T ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 Z