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J-GLOBAL ID：200903087153844864

表面形状測定装置及び測定方法

Inventor： 藤井 透 ,  藤生 尚光 ,  渡辺 俊二 ,  三五 貴敬
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994040227
Publication number (International publication number)：1995248335
Application date： Mar. 11, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：

【要約】【目的】 構成が簡単でしかも作製が容易なAFMカンチレバーを備えた表面形状測定装置を提供する。【構成】 原子間力検出用探針付きカンチレバーと、カンチレバー上に二つの電極に挟まれて形成されカンチレバーの共振周波数付近の振動を励起するための圧電薄膜と、圧電薄膜のインピーダンスを測定する手段を設けた構造とする。

Claim (excerpt)：

原子間力を検出して物体の表面形状を測定する表面形状測定装置において、原子間力検出用探針付きカンチレバーと、該カンチレバー上に二つの電極に挟まれて形成されカンチレバーの共振周波数付近の振動を励起するための圧電薄膜と、該圧電薄膜のインピーダンスを測定する手段とからなることを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28