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J-GLOBAL ID：200903087169408517

太陽電池モジュールの製造法

Inventor： 貞本 満 ,  芦田 芳徳 ,  福田 信弘
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995010778
Publication number (International publication number)：1996204217
Application date： Jan. 26, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【構成】 透明基板上に凹凸形状を有したヘイズ率の高い透明導電膜、非晶質シリコン層、裏面電極の順に構成された太陽電池において、各層の形成後に充分に制御されたエネルギー密度及び加工形状を有したレーザー光を照射することにより、各層の選択切断を良好に行い、太陽電池モジュールを形成する。【効果】 これまで再現良く行うことが難しいとされてきた裏面電極の高エネルギー密度を有したパルスレーザーの連続照射によるパターニング加工において、高効率の太陽電池モジュールを、再現良く製造することが容易になり、生産性が大幅に向上する。

Claim (excerpt)：

透明絶縁基板上に、透明導電膜、非晶質シリコン層、裏面電極を形成してなる太陽電池モジュールの該裏面電極のパターニングをレーザー光により行う太陽電池モジュールの製造方法において、該透明導電膜として5%以上30%未満のヘイズ率を有する凹凸型の透明導電膜を用いることを特徴とする前記方法。

FI (2)：

H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 B