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J-GLOBAL ID：200903087174105697

拡散補給型電子源、その製造方法および電子線装置

Inventor： 西山 英利 ,  大嶋 卓 ,  野副 真理
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998026804
Publication number (International publication number)：1999224629
Application date： Feb. 09, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】高電流密度及びエネルギー幅の狭い電子放出の可能な拡散補給型電子源を提供し,電子線描画装置の描画速度,透過型電子顕微鏡,走査型電子顕微鏡の観察速度,及び分解能を向上させる。【解決手段】先端を針状にした金属からなる針状電極2と,これを加熱する発熱体1と,それら又は近傍に付着させた拡散源3により構成し,拡散源として,酸素を含むアルカリ金属の化合物とその還元剤,酸素を含むアルカリ土類金属の化合物とその還元剤,又はこれらの混合物を用い,又は酸素を含むアルカリ土類金属の化合物,アルカリ土類金属の酸化物,又はこれらの混合物を用い,拡散源を加熱することによりアルカリ金属,アルカリ土類金属のうちの元素を熱分解,又は還元することにより生成し,針状電極先端まで拡散させ,その元素を含む吸着層を形成させる。

Claim (excerpt)：

先端を針状にした金属から成る針状電極と,該針状電極を加熱する発熱体からなる電子源において、該電子源は該発熱体により加熱可能な拡散源を有し,該拡散源は、酸素を含むアルカリ金属の化合物とその還元剤,酸素を含むアルカリ土類金属の化合物とその還元剤,もしくはこれらの混合物を備え、かつ該拡散源は、加熱されることにより、前記アルカリ金属,前記アルカリ土類金属のうち少なくとも一種類の元素を還元し,該還元した元素を該針状電極先端まで拡散させて、該針状電極先端に、該還元された元素が存在する吸着層を形成するよう配設されていることを特徴とする拡散補給型電子源。

IPC (4)：

H01J 37/06 ,  H01J 1/15 ,  H01J 9/04 ,  H01J 37/073

FI (4)：

H01J 37/06 A ,  H01J 1/15 G ,  H01J 9/04 H ,  H01J 37/073