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J-GLOBAL ID：200903087176417793

弾性表面波装置

Inventor： 森本 茂行
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 柿本 恭成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995008420
Publication number (International publication number)：1996204493
Application date： Jan. 23, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 弾性表面波装置の歩留まりを向上する。【構成】 電気信号と弾性表面波間の変換を行うIDT60,70は圧電基板51上に形成されている。保護膜80は圧電基板51の弾性表面波の伝搬路とIDT60,70の弾性表面波励振電極部61,71とを、機械的損傷と汚染から守るものである。下地電極63,73が弾性表面波励振電極部61,71と圧電基板51の密着性を向上させ、例えばクロムの金属膜64,74は、各弾性表面波励振電極部61,71と保護膜80のSiO2 の密着性を高めている。そのため、弾性表面波装置の製造時に、保護膜80が剥離することがなくなり、弾性表面波の伝搬路及び弾性表面波励振電極部61,71が、機械的損傷と汚染から守られる。

Claim (excerpt)：

圧電基板上にすだれ状に形成されて電気信号と弾性表面波間の変換を行う弾性表面波励振電極部と、前記弾性表面波励振電極部及び前記圧電基板の前記弾性表面波の伝搬路上に形成された保護膜とを、備えた弾性表面波装置において、前記弾性表面波励振電極部上に堆積され、該弾性表面波励振電極部と前記保護膜との密着性を高める金属或いは絶縁体を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 弾性表面波素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-135483   Applicant：富士通株式会社