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J-GLOBAL ID：200903087187133916

マグネシウム、アルミニウム及び珪素を含む複合金属酸化物膜の製造方法

Inventor： 小島 邦彦 ,  宮崎 光晴 ,  水上 富士夫 ,  前田 和之
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  東洋合成工業株式会社
Agent (2)： 工業技術院化学技術研究所長 (外1名) ,  池浦 敏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991174436
Publication number (International publication number)：1993229813
Application date： Jun. 19, 1991
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 純粋かつ均質なコーディライト様膜を容易に、しかも再現性良く製造する方法を提供する。【構成】 珪素化合物、アルミニウム化合物及びマグネシウム化合物を、下記一般式R(OCH2CH2)nOH(式中、Rはアルキル基、nは1以上の整数を示す)で表わされるエーテル化合物からなる有機配位子と結合させた金属錯体の形で、基材上に塗布し、乾燥させ、アニール処理して熱分解させることを特徴とするマグネシウム、アルミニウム及び珪素を含むコーディライト様複合金属酸化物膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

珪素化合物、アルミニウム化合物及びマグネシウム化合物を、下記一般式R(OCH2CH2)nOH(式中、Rはアルキル基、nは1以上の整数を示す)で表わされるエーテル化合物からなる有機配位子と結合させた金属錯体の形で、基材上に塗布し、乾燥させ、アニール処理して熱分解させることを特徴とするマグネシウム、アルミニウム及び珪素を含む複合金属酸化物膜の製造方法。

IPC (2)：

C01B 33/26 ,  C01F 7/00