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J-GLOBAL ID：200903087223691122

ポジ型感光性組成物

Inventor： 山中 司 ,  青合 利明
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995025531
Publication number (International publication number)：1996220762
Application date： Feb. 14, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 露光後のベークまでの経時(PED)によるプロファイル劣化防止、高解像性、感度の安定性、露光後ベーク(PEB)時の膜収縮防止の良好な、現像不良のないポジ型感光性組成物を提供することである。【構成】 (A)樹脂、(B)特定構造の酸で分解し得る基を有しアルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する分子量3,000以下の単純な酸分解性溶解阻止化合物、(C)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(D)有機塩基性化合物、並びに(E)界面活性剤を含有し、且つ(E)の含有量が組成物中5重量%以上である。

Claim (excerpt)：

(A)樹脂、(B)(i)酸で分解し得る基を少なくとも2個有し、該酸分解性基間の距離が、最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を10個以上経由する、又は(ii)酸で分解し得る基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の単純な酸分解性溶解阻止化合物、(C)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(D)有機塩基性化合物、並びに(E)界面活性剤を含有し、且つ(E)の含有量が組成物中5重量%以上であることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R