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J-GLOBAL ID：200903087235790029

走査型顕微鏡の光軸調整装置

Inventor： 小島 孝明 ,  白石 吉昭
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 木下 実三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991278580
Publication number (International publication number)：1993088092
Application date： Sep. 30, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 光軸の角度調整や位置調整を簡単にかつ正確に行える走査型顕微鏡の光軸調整装置を提供すること。【構成】 角度調整機構20の各ベース部材22, 23間に配置されたダイヤル29を回し、ボール30を支点としてベース部材23に対してベース部材22を傾斜させて光軸の角度調整を行う。また、位置調整機構40の溝52,53 にハンドル56を挿入して左右方向に動かし、中間ベース部材44に対してベース部材42をピン47を中心に動かして光軸の相対位置調整を行う。調整装置4の側面からの操作で角度調整および位置調整を行えるため、光軸調整装置4に接続している走査型レーザ装置および光学顕微鏡の光軸を簡単にかつ正確に一致させることができる。

Claim (excerpt)：

光学顕微鏡と走査型レーザ装置とを組み合わせて構成される走査型顕微鏡において、前記光学顕微鏡および走査型レーザ装置間に介在されて走査型レーザ装置の光軸と光学顕微鏡の光軸とを一致させる光軸調整装置であって、走査型レーザ装置側に取付けられた角度調整用レーザ側ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた角度調整用顕微鏡側ベース部材と、前記各ベース部材の中心軸から離れて設けられた回動支点部と、側面からの操作により前記回動支点部を支点として一方のベース部材を他方のベース部材に対して傾斜させる傾斜手段と、を備えて構成される角度調整機構と、走査型レーザ装置側に取付けられた位置調整用レーザ側ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた位置調整用顕微鏡側ベース部材と、これら各ベース部材間に介在された中間ベース部材と、前記位置調整用レーザ側ベース部材および中間ベース部材の中心軸から離れて設けられて両ベース部材をその中心軸に直交する方向に回動自在に連結する第1のピンと、この第1のピンから中心軸回りに略90度離れた位置に設けられて前記顕微鏡側ベース部材および中間ベース部材をその中心軸に直交する方向に回動自在に連結する第2のピンと、側面からの操作により中間ベース部材に対して位置調整用レーザ側ベース部材を第1のピンを中心に回動させる第1の回動手段と、側面からの操作により中間ベース部材に対して位置調整用顕微鏡側ベース部材を第2のピンを中心に回動させる第2の回動手段と、を備えて構成される位置調整機構と、を有することを特徴とする走査型顕微鏡の光軸調整装置。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/00