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J-GLOBAL ID：200903087275416596

匂いセンサおよびその製造方法

Inventor： 斎藤 稔 ,  宮本 裕生 ,  海部 勝晶
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994176290
Publication number (International publication number)：1996043339
Application date： Jul. 28, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 空気中に長期間放置したり、匂いセンサに吸着した匂い物質をこれから脱離させるための加熱処理を繰り返して実施した後でも、匂い物質に対する応答特性の劣化が従来のものに比べて少ない匂いセンサを提供する。【構成】 匂いに感応して電気特性が変化する有機薄膜15と、該有機薄膜の電気特性を測定するための電極13とを具える匂いセンサにおいて、有機薄膜をプラズマ重合法により形成された膜で構成する。

Claim (excerpt)：

匂いに感応して電気特性が変化する有機薄膜と、該有機薄膜の電気特性を測定するための電極とを具える匂いセンサにおいて、有機薄膜をプラズマ重合法により形成された膜で構成したことを特徴とする匂いセンサ。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/22