Pat

J-GLOBAL ID：200903087287298211

アルカリ可溶性シロキサン重合体

Inventor： 五十嵐 美和 ,  渡部 慶二 ,  矢野 映 ,  並木 崇久 ,  野崎 耕司 ,  倉光 庸子
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996062750
Publication number (International publication number)：1997249749
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 合成や分子量制御が容易であり、かつ、レジスト材料として好適な、高解像性で、高エッチング耐性を有する、アルカリ可溶性のSi含有ポリマを提供する。【解決手段】 下記一般式で表されるアルカリ可溶性シロキサン重合体。【化1】〔上式中、Rはシロキサンポリマ残基を表し、R1 およびR2 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し、R3 およびR4 はそれぞれ独立に-H,-Clまたは一価の有機基を表し、R5 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し(ただし、基R5 の50%以上が-Hであるものとする)、mは1〜3の整数であり、nは1または2であり、aおよびbは1以上の整数である〕

Claim (excerpt)：

下記一般式(A)で表されるアルカリ可溶性シロキサン重合体。【化1】〔上式中、Rはシロキサンポリマ残基を表し、R1 およびR2 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し、R3 およびR4 はそれぞれ独立に-H,-Clまたは一価の有機基を表し、R5 はそれぞれ独立に-Hまたは一価の有機基を表し(ただし、基R5 の50%以上が-Hであるものとする)、mは1〜3の整数であり、nは1または2であり、aおよびbは1以上の整数である〕

IPC (2)：

C08G 77/52 NUM ,  G03F 7/075 511

FI (2)：

C08G 77/52 NUM ,  G03F 7/075 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 特開平2-225524
  
• フェノールにより改質されたシリコーン
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-110846   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 特開平1-292036
  
• 特開平2-225524
  
• 特開平1-292036
  
• 特開平2-225524
  
• 特開平1-292036