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J-GLOBAL ID：200903087318696644

減圧気相反応装置及びその排ガス処理方法

Inventor： 松浦 克好 ,  坂元 直樹 ,  鶴見 徹 ,  山西 宏和 ,  鎌田 博之 ,  佐藤 善康 ,  阿部 和英 ,  尾松 啓 ,  山本 英雄 ,  西村 伸弘
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  神港精機株式会社
Agent (1)： 柏谷 昭司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995311829
Publication number (International publication number)：1997157852
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Jun. 17, 1997
Summary：

【要約】【課題】 減圧気相反応装置及びその排ガス処理方法に関し、水封ポンプを用いた減圧気相反応装置に於いて、乾式除害装置を用いることなく、ClF3 ガスなどのクリーニング用ガスの除害を可能とし、反応室のクリーニングを容易にしようとする。【解決手段】 反応室1内に付着した反応生成物を除去する為にClF3 ガスを送入してクリーニングする機構をもった減圧気相反応装置に於いて、メカニカル・ブースター・ポンプ7及び油回転ポンプ8以降のガス排気管6に少なくともインペラ及び側板及び中間壁板がステンレス鋼或いはNi系金属から選択された耐食性金属材料で構成された水封ポンプ10を介挿して排気を行うと共に前記ClF3 ガス及びガス化した反応生成物の除害を行う。

Claim (excerpt)：

反応室内に付着した反応生成物を除去する為にClF3 ガスを送入してクリーニングする機構をもった減圧気相反応装置に於いて、真空ポンプ以降のガス排気ラインに介挿されて排気を行うと共に前記ClF3ガス及びガス化した反応生成物の除害を行う少なくともインペラ及び側板及び中間壁板がステンレス鋼或いはNi系金属から選択された耐食性金属材料で構成された水封ポンプを備えてなることを特徴とする減圧気相反応装置。

IPC (5)：

C23C 16/44 ,  B01D 53/68 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341

FI (6)：

C23C 16/44 E ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 Z ,  B01D 53/34 134 A