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J-GLOBAL ID：200903087330759961

ラクトン構造を有する多環式化合物

Inventor： 大篭 裕二 ,  内藤 威敏
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001109446
Publication number (International publication number)：2002308866
Application date： Apr. 09, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 エキシマレーザー光を光源とするフォトリソグラフィーに用いるレジスト材料のベース樹脂として好適な重合体を与える単量体を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)又は(2)で表されるラクトン構造を有する多環式化合物(R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基又はアルコキシカルボニル基を示す。R3ないしR7は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を示す。Xはメチレン基、エチレン基、酸素原子又は硫黄原子を示す。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)又は(2)で表されるラクトン構造を有する多環式化合物【化1】(式中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基又はアルコキシカルボニル基を示す。R3ないしR7は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を示す。Xはメチレン基、エチレン基、酸素原子又は硫黄原子を示す。)

IPC (5)：

C07D307/93 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/28 ,  C08F 20/38

FI (5)：

C07D307/93 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 20/28 ,  C08F 20/38 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (13)：

2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  4C037UA05 ,  4J100AL08P ,  4J100BC07P ,  4J100BC60P ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• (メタ)アクリル酸エステル、その原料アルコール、および、それらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-366958   Applicant：三菱レイヨン株式会社