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J-GLOBAL ID：200903087341823386

半導体素子用ボンディング線

Inventor： 板橋 一光 ,  鯨岡 毅
Applicant, Patent owner： 田中電子工業株式会社
Agent (1)： 早川 政名
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992262211
Publication number (International publication number)：1994112251
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】Pt族元素の添加によりAu線の強度向上を図ると同時に、その添加量を適度な範囲として、高温放置試験におけるA点剥がれの発生率を低下させる。【構成】高純度Auに、Pd,Pt,Rh,Ir,Os,Ruの中から1種又は2種以上を、総添加量0.1 〜5wt%含有せしめると共に、Ca,Be,Ge,Si,Fe,Y,希土類元素の中から1種又は2種以上を、総添加量0.0001〜0.005 wt%含有せしめて溶解鋳造し、次に溝ロール加工を施し、その途中で焼なまし処理を施した後に線引加工し、更に十分な応力除去を行って線径25μmの母線を成形した。

Claim (excerpt)：

高純度Auに、Pd,Pt,Rh,Ir,Os,Ruの中から1種又は2種以上を、総添加量0.1〜5wt%含有せしめてなる半導体素子用ボンディング線。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-049534
  
• 特開昭56-013740
  
• 特開平2-288348