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J-GLOBAL ID：200903087356488680

ナフトキノンジアジドスルホン酸混合エステルを含む組成物およびそれを使用して製造した放射感応性記録材料

Inventor： ジークフリート、シェルラー ,  ウォルフガング、ツァーン ,  アクセル、シュミット ,  ゲルハルト、ブール
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992087280
Publication number (International publication number)：1994027656
Application date： Apr. 08, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 水に不溶であるが、水性アルカリ溶液には可溶である、または少なくとも膨潤し得る樹脂状結合剤、少なくとも一つの放射感応性化合物および所望により架橋剤を含む放射感応性組成物およびそれを使用して製造した放射感応性記録材料を提供。【構成】 この放射感応性化合物は、a)2〜6個の芳香族水酸基を含む化合物、b)リング置換した(o-ナフトキノン2-ジアジド)-4-スルホン酸(ジアゾ化合物D1 )、およびc)それ以上置換していない(o-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-または-5-スルホン酸(ジアゾ化合物D2 )および/または非放射感応性有機酸(化合物D0 )からなるエステルであり、D1 :(D2 および/またはD0 )モル比が0.1:1〜30:1である。

Claim (excerpt)：

水に不溶であるが、水性アルカリ溶液には可溶であるかまたは少なくとも膨潤し得る樹脂状結合剤および少なくとも一つの放射感応性化合物を含む放射感応性組成物であって、その放射感応性化合物が、a)2〜6個の芳香族水酸基を含む化合物、b)リング置換した(o-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-スルホン酸(ジアゾ化合物D1 )、およびc)それ以上置換していない(o-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-または-5-スルホン酸(ジアゾ化合物D2 )および/または非放射感応性有機酸(化合物D0 )からなるエステルであり、D1 :(D2 および/またはD0 )モル比が0.1:1〜30:1であるることを特徴とする、放射感応性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/00 503 ,  H01L 21/027