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J-GLOBAL ID：200903087362392334

感光性組成物、パターン形成方法およびフラットパネルディスプレイ用電極の製造方法

Inventor：
吉田 武司

About 吉田 武司

, 
鬼丸 奈美

About 鬼丸 奈美

, 
後藤 奈美子

About 後藤 奈美子

, 
増子 英明

About 増子 英明


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (2)： 牧村 浩次 ,  高畑 ちより
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008155921
Publication number (International publication number)：2009300789
Application date： Jun. 13, 2008
Publication date： Dec. 24, 2009
Summary：
【課題】高い平滑性を有しながら焼成後にパターンの両端の反りが生じない感光性樹脂層を形成することができ、高精細な電極パターンを形成することのできる感光性組成物、および高精細な電極パターンを形成することのできるパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)導電性粒子、(B)ガラス粒子、(C)(c1)(メタ)アクリル酸アルキルオキシアルキルエステル構成単位、および(c2)カルボキシル基を含有する構成単位を含有する重合体、(D)光重合性モノマー、および(E)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性組成物、およびこれを用いたパターン形成方法。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)導電性粒子、 (B)ガラス粒子、 (C)(c1)下記式(1)で示される構成単位、および(c2)カルボキシル基を含有する構成単位を含有する重合体、
IPC (6)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  H01J 9/02 ,  C08F 220/28 ,  C08F 220/06 ,  C08F 220/12
FI (6)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 501 ,  H01J9/02 F ,  C08F220/28 ,  C08F220/06 ,  C08F220/12
F-Term (44)：
2H025AA18 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025CA02 ,  2H025CA09 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC06 ,  2H025CC08 ,  2H025CC09 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01 ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AL03S ,  4J100AL04S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09R ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38 ,  4J100JA45 ,  5C027AA01 ,  5C040GC19 ,  5C040KA16 ,  5C040MA24
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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