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J-GLOBAL ID:200903087370340106

粒子除去装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中島 淳 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998123377
Publication number (International publication number):1999030938
Application date: May. 06, 1998
Publication date: Feb. 02, 1999
Summary:
【要約】【課題】 補助的に超音波を用いたクリーニングブレードを提供する。【解決手段】 表面から粒子を除去するクリーニング装置は、表面をクリーニングするための自由端と、クリーニングを行う際にクリーニング手段を位置決めする固定端とを有するクリーニングブレードと、該クリーニングブレード固定端上に設けられ、ブレードに振動エネルギーを与えて表面の粒子を浮かせ、除去するための超音波クリーニング補助(UCA)デバイスとを含む。
Claim (excerpt):
表面から粒子を除去する装置であって、前記表面から粒子をクリーニングする手段を含み、該クリーニング手段が表面をクリーニングするための自由端と、前記表面と接触してクリーニングする際に前記クリーニング手段を位置決めするための固定端との二つの端部を有し、前記クリーニング手段と連結して固定端上に設けられ、前記クリーニング手段に振動エネルギーを与えて表面の粒子を浮かせ、前記表面から粒子を除去する振動手段と、を有することを特徴とする粒子除去装置。

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