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J-GLOBAL ID：200903087379227060

クリーンルーム内搬送システム

Inventor： 村田 正直 ,  山下 哲平 ,  田中 幹 ,  星子 孝秀 ,  苅田 充二 ,  河野 等 ,  新谷 勉
Applicant, Patent owner： 神鋼電機株式会社
Agent (1)： 小林 傅
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992177218
Publication number (International publication number)：1994016206
Application date： Jul. 03, 1992
Publication date： Jan. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ウエハ搬送効率を向上することができ、効率の良い多種処理を容易に可能にするクリーンルーム内搬送システムを提供することを目的とする。【構成】 工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをやりとりするインターフェース装置、このインターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され1つのラインを構成する1もしくは複数のウエハ処理装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置40は当該インターフェース装置へ搬送された1もしくは複数の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して上記ラインに専用のカセット101に移し替え、上記装置間搬送装置は上記専用のカセットを移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりすることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをやりとりするインターフェース装置、このインターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され1つのラインを構成する1もしくは複数のウエハ処理装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置は当該インターフェース装置へ搬送された1もしくは複数の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して上記ラインに専用のカセットもしくは所定のウエハ収納箇所に移し替え、上記装置間搬送装置は上記専用のカセットもしくは上記移し替えられたウエハ/ウエハ群群を移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりすることを特徴とするクリーンルーム内搬送システム。

IPC (3)：

B65G 1/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-117512
  
• 特開昭64-049237
  
• 特開昭62-121106
  
• 特開昭58-191446